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  半導(dǎo)體（ semiconductor），指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體（conductor）與絕緣體（insulator）之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測(cè)溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。車(chē)間廢氣凈化無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導(dǎo)體材料中，在商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種。

  半導(dǎo)體材料生產(chǎn)過(guò)程中污染氣體的主要成分為：一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)、HF等。

  乙方對(duì)此項(xiàng)目的廢氣進(jìn)行凈化處理，包括廢氣處理方案、設(shè)計(jì)、施工及安裝調(diào)試。

  污染氣體的主要成分為：一氧化二氮(N2O)、一氧化氮 (NO)、二氧化氮(NO2)、三氧化二氮 (N2O3)、四氧化二氮(N2O4)和五氧化二氮(N2O5)、HF等。

  一氧化氮 (NO)為無(wú)色氣體，分子量30.01，熔點(diǎn)-163.6℃，沸點(diǎn)-151.5℃，蒸氣壓101.3lkPa(-151.7℃)。溶于乙醇、二硫化碳，微溶于水和硫酸，水中溶解度4.7% (20℃)。性質(zhì)不穩(wěn)定，在空氣中易氧化成二氧化氮 

(2NO+O2→2NO2)。一氧化氮結(jié)合血紅蛋白的能力比一氧化碳還強(qiáng)，更容易造成人體缺氧。不過(guò)，人們也發(fā)現(xiàn)了它在生物學(xué)方面的獨(dú)特作用。一氧化氮分子作為一種傳遞神經(jīng)信息的信使分子 ，在使血管擴(kuò)張，免疫，增強(qiáng)記憶力等方面有著及其重要的作用。

  二氧化氮 (NO2)在21.1℃溫度時(shí)為紅棕色刺鼻氣體;在21.1℃以下時(shí)呈暗褐色液體。在-ll℃以下溫度時(shí)為無(wú)色固體，加壓液體為四氧化二氮。分子量46.01，熔點(diǎn)-11.2℃，沸點(diǎn) 21.2℃，蒸氣壓101.3lkPa(2l℃)，溶于堿、二硫化碳和氯仿，微溶于水。性質(zhì)較穩(wěn)定。二氧化氮溶于水時(shí)生成硝酸和一氧化氮。工業(yè)上利用這一原理制取硝酸。二氧化氮能使多種織物褪色，損壞多種織物和尼龍制品，對(duì)金屬和非金屬材料也有腐蝕作用。

  HF是由氟元素與氫元素組成的二元化合物，它是無(wú)色有刺激性氣味的氣體 ，是一種一元弱酸。氟化氫的水溶液稱(chēng)作氫氟酸。氟化氫及其水溶液均有毒性，容易使骨骼、牙齒畸形，氫氟酸可以透過(guò)皮膚被黏膜、呼吸道及腸胃道吸收。
氮氧化物可刺激肺部，使人較難抵抗感冒之類(lèi)的呼吸系統(tǒng)疾病，呼吸系統(tǒng)有問(wèn)題的人士如哮喘病患者，會(huì)較易受二氧化氮影響。對(duì)兒童來(lái)說(shuō)，氮氧化物可能會(huì)造成肺部發(fā)育受損。研究指出長(zhǎng)期吸入氮氧化物可能會(huì)導(dǎo)致肺部構(gòu)造改變，但仍未可確定導(dǎo)致這種后果的氮氧化物含量及吸入氣體時(shí)間。

  以一氧化氮和二氧化氮為主的氮氧化物是形成光化學(xué)煙霧和酸雨的一個(gè)重要原因.汽車(chē)尾氣中的氮氧化物與碳?xì)浠衔锝?jīng)紫外線照射發(fā)生反應(yīng)形成的有毒煙霧,稱(chēng)為光化學(xué)煙霧.光化學(xué)煙霧具有特殊氣味,刺激眼睛,傷害植物,并能使大氣能見(jiàn)度降低.另外,氮氧化物與空氣中的水反應(yīng)生成的硝酸和亞硝酸是酸雨的成分.大氣中的氮氧化物主要源于化石燃料的燃燒和植物體的焚燒,以及農(nóng)田土壤和動(dòng)物排泄物中含氮化合物的轉(zhuǎn)化.
 

  車(chē)間廢氣凈化半導(dǎo)體材料氮氧化物酸洗廢氣工藝如下：

 NOx廢氣的治理方法大致可以分為燃燒控制技術(shù)、爐內(nèi)噴射吸收劑以及煙氣脫硝技術(shù)等，按脫硝裝置所處位置可分為生產(chǎn)過(guò)程中控制和過(guò)程后處理。工業(yè)廢氣中NOx的脫除技術(shù)一般采用過(guò)程后處理，又可分為干法和濕法兩大類(lèi)。       干法包括催化還原法、催化分解法、吸附法等。濕法包括堿吸收、還原吸收、氧化吸收和絡(luò)合吸收等。與干法相比，濕法具有工藝設(shè)備簡(jiǎn)單、操作費(fèi)用低廉、吸收劑種類(lèi)多、適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。從吸收液的成本考慮，可采用堿液吸收，其產(chǎn)生副產(chǎn)物NaNO2和NaNO3可以回收利用。

  堿液吸收法：堿性溶液指的是鈉、鉀、鎂等離子的氫氧化物或弱酸鹽溶液。堿液吸收法不但可將NOx去除，所得亞硝酸鹽產(chǎn)物還可用作防腐劑、防凍劑等，具有一定的市場(chǎng)價(jià)值。
 
  KOH吸收液雖然反應(yīng)活性相對(duì)值較高，因其價(jià)高貨源少，所以使用的較少，實(shí)際廣泛使用的吸收劑主要是NaOH 和Na2CO3。
 
  采用Na2CO3吸收NOx的效果不如NaOH，原因是Na2CO3的濃度降至1.5-5%時(shí)，吸收效果急劇下降，而NaOH則無(wú)此效應(yīng)，另外Na2CO3吸收時(shí)產(chǎn)生的CO2將降低NOx在溶液中的溶解度。因此堿液中使用最多的是NaOH。
由于本項(xiàng)目廢氣處理量較大，且濃度較高，結(jié)合甲方要求，本項(xiàng)目采用三級(jí)噴淋填料塔對(duì)廢氣進(jìn)行處理，每個(gè)塔采用二級(jí)噴淋，循環(huán)噴淋溶液均為NaOH和Na2S的混合液。

  其中一級(jí)塔NaOH濃度控制在4%-8%左右（主要是為了去除廢氣中的硝酸、氫氟酸），Na2S濃度控制在2%左右，二級(jí)塔NaOH濃度控制在2%左右，Na2S濃度控制在2%左右，三級(jí)塔NaOH濃度控制在2%左右，Na2S濃度控制在2%左右。

  具體配堿濃度還要依據(jù)實(shí)際運(yùn)行情況不斷調(diào)整以到達(dá)最優(yōu)運(yùn)行條件，液氣比越大，空塔速度越低，凈化效率就越高。

  廢氣經(jīng)管道收集后進(jìn)入廢氣處理系統(tǒng)，廢氣經(jīng)管道進(jìn)入一級(jí)噴淋填料塔進(jìn)行處理，其主要作用是利用堿性溶液吸收HF酸性氣體、硝酸氣體和部分NO2氣體，其中Na2S起到還原作用，提高脫氮效率，之后廢氣再經(jīng)過(guò)二、三級(jí)噴淋填料塔處理，之后廢氣通過(guò)風(fēng)機(jī)、排氣筒達(dá)標(biāo)排放。此工藝不僅處理效率高，能高效去除污染物，而且運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用低。

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